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半導(dǎo)體材料測(cè)試
橢偏拉曼AFM
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對(duì)小體積樣品材料力學(xué)性質(zhì)進(jìn)行定量化測(cè)試的關(guān)鍵技術(shù)。
拉曼光譜用來(lái)測(cè)試材料應(yīng)力,摻雜濃度和sheet& pattem等。從散射光的能量轉(zhuǎn)移,強(qiáng)度和偏振等方面可以獲取樣品豐富信息,如:結(jié)晶取向,組分,機(jī)械應(yīng)力,摻雜和溫度變化等。
原子力顯微鏡使用非常小的探針,掃描樣品表面,在原子尺度探測(cè)樣品形貌。Semilab的AFM設(shè)備,可靈活配置和測(cè)試,具備優(yōu)異測(cè)試穩(wěn)定性和可靠性。
iSR是一種微光斑測(cè)試技術(shù),用于實(shí)時(shí)刻蝕和Halftone工藝中的厚度測(cè)試
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