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半導體材料測試
深能級瞬態(tài)譜測試
深能級瞬態(tài)譜測試儀
深能級瞬態(tài)譜儀(DLTS)是檢測半導體材料和器件缺陷和雜質的最好技術手段,它可以測定各種深能級相關參數(shù),如深能級,俘獲界面,濃度分布等。
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