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準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)-光致發(fā)光可以將QSS準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)少子壽命測試和PL光致發(fā)光技術(shù)相結(jié)合,快速獲得樣品的少子壽命分布圖譜信息。
光致發(fā)光主要對材料能帶結(jié)構(gòu),雜質(zhì)濃度和缺陷,組分機理以及材料質(zhì)量進行檢測。 WT-2000PL專門針對PL應(yīng)用開發(fā),具有非接觸,快速,可變溫,光斑等特點。
Semilab PV-2000A是業(yè)界功能最(zui)先進的,用于晶硅太陽能電池片生產(chǎn)及光伏工藝研發(fā)的非接觸電學(xué)表征系統(tǒng),以滿足硅片到成品電池片不同工藝控制的測試需求。
LEI Model2017B,通過汞探針接觸方法,對各類半導(dǎo)體材料的載流子濃度分布進行測試,特別適合GaN.SiC等化合物材料。
汞CV測試系統(tǒng),用于對外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測試; MCV-530L可測最大200mm的樣品。
CV-1500,用于測試界面和介電層的科研平臺,基于SDI Corona-Kelvin技術(shù),可以進行非接觸C-V/I-V測試。
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